光刻机是生产芯片的核心设备，重要性不言而喻，而我国在光刻机方面起步较晚，在全球供应链上也被美国卡脖子，因此光刻机很难生产出来，那么我国光刻机生产到几nm了呢？网上有人问中国成功生产5纳米光刻机是真的吗？

我国的光刻机龙头不是知名的中芯国际，即使是台积电也生产不了，而是上海微电子，从实现量产光刻机这个角度，目前上海微电子能量产90nm光刻机，而如果不从量产的角度，目前我国最新的也仅为22纳米光刻机，并且无法生产最新的EUV光刻机，只能生产低端DUV光刻机。

同时还中国还不断面临来自国外的打击，比如我们研发出高端的光刻机，美国就会把同等类型的光刻机放开，跟我们进行竞争，毕竟我们研发出来了，那么禁用也没有用了，还不如放开来打击抢我们国产光刻机的市场。

中国成功生产5纳米光刻机了吗？需要了解的是，5纳米光刻机属于全球先进的技术之一，目前只有少数几家公司能够生产。其中，ASML是全球最大的光刻机生产商，其在欧洲和美国的工厂生产的光刻机占据了全球市场的绝大部分份额。在中国，目前还没有能够生产5纳米光刻机的公司。